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Präzises und automatisierbares Laserprofilometer

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Das äußerst präzise und zudem leicht automatisierbare 3D-Laserprofilometer von NanoFocus ist ein echter Allrounder. Durch seinen modularen Aufbau und den Einsatz unterschiedlicher Sensoren erfüllt es sowohl in der Forschung und Entwicklung als auch im Produktionsumfeld wichtige Messaufgaben. Der hochgenaue und extrem schnelle Sensor AF2000 arbeitet nach dem Autofokusprinzip. Eine Linse regelt den Fokus des Laserstrahls auf der Oberfläche des Messobjekts nach, während dieses abgetastet wird. Mit einer Auflösung von unter 0,025 µm und einer Datenrate von 10 kHz ist es der schnellste und genaueste Autofokussensor weltweit. Vor allem im Bereich Rauheit, Welligkeit, Koplanarität und Höhenbestimmung wird dieser Sensor erfolgreich eingesetzt. Müssen Strukturen mit hohen Aspektverhältnissen gemessen werden, kommt der konfokale Punktsensor CF2001 zum Einsatz. Seine passive Höhenbestimmung mit Hilfe einer Lochblendenanordnung macht ihn unanfällig gegen sonst unvermeidliche Überschwinger und Messartefakte an steilen Kanten. Er erreicht eine Auflösung von 0,1 µm und kann 750 Messdaten pro Sekunde erfassen. Mit dem holografischen Sensor CP1000 wird das Sensorprogramm abgerundet. Er zeichnet sich durch einen großen Messbereich aus. Dieser kann durch Auswechseln des Objektives verändert werden. Dementsprechend erreicht der CP1000 eine Auflösung von 1 bis 10 µm. Höchst präzise xy-Verfahrtische und ein leicht bedienbares Softwarepaket, frei programmierbar mit ViusalBasic machen aus dem NanoFocus µScan ein unverzichtbares Hilfsmittel in der Qualitätssicherung und Entwicklung.

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