In der Fertigung von Mikrosystemen ist die optische Inspektion ein wichtiger Faktor für Wirtschaftlichkeit und Qualität der Erzeugnisse. Charakteristisch ist die 100% Kontrolle bei der Produktion von Masken, Leiterplatten und Keramiksubstraten, in der SMD- und Flip-Chip Technologie oder für integrierte Halbleiterstrukturen. Vorgestellt wurde von der Technischen Universität Ilmenau beispielhaft eine Hard- und Softwarelösung zur schnellen zwei- und dreidimensionalen Prüfung von Strukturen im Mikrobereich. Die Lösung ist eingebettet in die Übernahme der Messaufgabe aus vorhandenen CNC-Daten und die Qualitätsauswertung. Eine Besonderheit ist die Nutzung der digitalen Farbinformation für Livebild und Messung.
A QE 410
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