SIOS stellt laser-interferometrische und andere Präzisionsmeßgeräte zur Messung von Längen, Winkeln und abgeleiteten Größen wie Massen, Kräften und Drücken her. Sie arbeiten größtenteils auf der Basis von miniaturisierten Laserinterfero-metern. Diese LWL-gekoppelten Längenmeßgeräte mit der enormen Auflösung von 1 nm sind aufgrund der Nutzung eines frequenzstabilisierten He-Ne-Lasers als Lichtquelle sowie der Korrektur von Umwelteinflüssen, die für die Wellenlänge relevant sind, sehr stabil und genau. Die Meßwege betragen bis zu 2 m. Durch Zuführung des Lichtes zum Sensorkopf über LWL wird die Meßumgebung thermisch nicht beeinflußt. Die mit Planspiegelreflektor bzw. Retroreflektor arbeitenden Miniaturinterferometer werden auch in zwei- und mehrachsigen Systemen eingesetzt. Weiterhin sind Varianten für Winkel- und Schwingungsmessungen im Angebot. Neben Einbau- Meßgeräten werden komplette Meßanlagen je nach Kundenwunsch und Einsatzbedingungen konzipiert und gefertigt.
A QE 640
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