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Software-Bibliothek für kamerageleitete Wafer-Positionierung

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Software-Bibliothek für kamerageleitete Wafer-Positionierung

Software-Bibliothek für kamerageleitete Wafer-Positionierung
Zur kameragestützten Qualitätssicherung in der Solar-Wafer-Herstellung bietet Vision Components eine Software-Bibliothek für hauseigene Smart Cameras an – mit optimierten Positionierfunktionen und für unterschiedliche Kameratypen. Kameras mit diesem Softwarepaket bieten Anwendern eine vollwertige Roboter-Guidance-Lösung: Die vom Bildverarbeitungssystem erkannten Positionierungsdaten meldet die Kamera über eine Datenleitung für eventuell nötige Korrekturbewegungen an den Fertigungsroboter.

Dank der Messgenauigkeit unter 2 µm bieten die Systeme eine sehr präzise, bereits in der Praxis bewährte Hand-Auge-Koordination. Auch bei mehreren Wafern im Bild, ist eine Prozesszeit unter 1,0 s gesichert. Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit werden nicht beeinträchtigt, etwa wenn die Siliziumscheiben Zerstörungen im Randbereich aufweisen. Objektkanten lassen sich nach Stärke und Rechtwinkligkeit sortieren, zusammenhängende Seiten werden von der Smart Camera automatisch geordnet und selektiert. Anhand der gefundenen Kanten werden Objektmittelpunkte und -drehlagen berechnet.
Vision Components, Ettlingen
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