Tensiomatic ist ein vollautomatisches softwaregesteuertes Tropfendispens- und Kontaktwinkelmeßsystem. Mit dem Trend zur Verwendung immer größerer Substrate (z.B. 12“-Wafer) sowie der Realisierung immer größerer und kompakterer Bauelemente (z.B. bei der Fertigung groß-flächiger Displays) wird es zunehmend erforderlich, die Oberflächeneigenschaften wie z.B. das Benetzungsverhalten als Funktion der Ortskoordinaten des Prüflings zu erfassen.
Tensiomatic erfüllt diese Forderung und ermöglicht die vollautomatische ortsabhängige Messung des Kontaktwinkels auf Substraten mit Abmessungen bis zu 400 x 500 mm². Neben der Tropfenposition ist dabei auch das aufzubringende Volumen der Meßflüssigkeit programmierbar. Die Auswertung erfolgt u.a. als 3D-Darstellung der Kontaktwinkelverteilung. Anwendungsbeispiele sind in der Halbleiterin-dustrie die Belackung von Si-Scheiben (Hafteigenschaften des Fotolacks), das Aufbringen von Haftvermittler (HMDS), Untersuchungen zum Benetzungsverhalten von Ätzmitteln, Reinigungsmitteln (Waferreinigung) und Entwickler sowie die Kontrolle von Substraten bei der Fertigung von Flat Panel Displays.
A QE 422
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