Flatscan ist ein neuentwickeltes Gerät zur automatischen berührungslosen 2D-Ebenheits-Messung an polierten Oberflächen. Das Meßgerät zeichnet sich durch seine hohe Meßgenauigkeit (besser 100 nm), die einfache Bedienbarkeit und die Unempfindlichkeit gegenüber Umwelteinflüssen (vor allem Schwingungen) aus.
Seine Einsatzgebiete reichen von der Waferstreß-Messung in der Halbleiter- über die Warp-Messung in der Glasindustrie bis hin zur Vermessung von Glas- und Kristallsubstraten oder Spiegelleisten in der optischen Industrie.
Flatscan kann standardmäßig mit Meßfeldern bis 750 mm geliefert werden. Größere Meßfelder sind auf Anfrage möglich.
A QE 411
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