Das Waferdickenmessgerät von Microspace ist ein hochauflösendes Präzisionsmesssystem zur Ermittlung der Waferdicke und des Ätzabtrages. Im teil – und vollautomatisierten Prüfablauf sind Halbleiterwafer der Durchmesser 300/200/150 mm und Halbscheiben in diametraler und/oder radialer Notchausrichtung sowie geometrisch undefinierte Bruchstücke messbar. Dabei sind die Wafer ausgerichtet auf einer ebenen Messplatte liegend mit Vakuumpinzette greifbar. In unmittelbarer Messstellennähe, rechts- und linksseitig vom Wafer befindet sich je eine Kalibrierstation. Gemessen wird unter Abschirmung sämtlicher Umgebungseinflüsse und mit prozessintegrierter Kalibrierwertüberwachung.
Präzise Positioniertechnik, hochauflösende Abstandssensorik zur beidseitig vertikalen Antastung, Temperatur- und Schwingungsisolierung sowie intelligenter Messstrategie ermöglichen sehr hohe Wiederholgenauigkeit bei geringster Messunsicherheit (<50 nm). Ein Messprogramm beinhaltet Tastertemperierung, Kalibrierung, Justierung, beliebig viele programmierte Messpositionen, Waferdicken- oder Abtragsmessung in jeder Messposition sowie Nachkalibrierung.
Microspace, Chemnitz
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