Die Lösung für die besonderen Anforderungen der Solartechnik bieten die 2D und 3D Oberflächenmessungen von FRT. Die Multisensor-Messgeräte liefern Informationen über die Beschaffenheit eines Solarwafers auf der Vorder- und Rückseite sowie am Rand. Dicke, Topographie, Welligkeit und Randbearbeitung werden zerstörungsfrei und hochpräzise gemessen. Die Messergebnisse ermöglichen Rückschlüsse auf die Oberflächenqualität, Brüchigkeit und den Wirkungsgrad eines Solarwafers – drei Parameter, die nicht nur für immer dünner werdende Wafer wie Dünnschichtzellen mit amorphem Silizium von Bedeutung sind.
Die optische Oberflächenmesstechnik von FRT wird zudem für die Qualitätskontrolle der elektrischen Leiterbahnen und Finger eingesetzt. Die automatisierbaren Messsysteme liefern die relevanten Daten kurzerhand und gewährleisten so eine produktionsnahe Qualitätssicherung. Sogar die Vermessung optisch aktiver Schichten, z.B. Antireflexionsschichten, ist mit den Lösungen realisierbar. Die Messtechnik kann in bestehende Produktionsprozesse komplett integriert werden. Sie bietet außerdem die Möglichkeit, mehrere Messaufgaben mit nur einem Gerät und einer Software durchzuführen, etwa durch die Kombination von Punkt- und Flächensensoren oder den Einsatz der Rasterkraftmikroskopie.
FRT Fries Research & Technology, Bergisch Gladbach
QE 516
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