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Micro-Epsilon: Montagebügel für hochgenaue Dickenmessungen

Sensorik
Micro-Epsilon: Montagebügel für hochgenaue Dickenmessungen

Micro-Epsilon: Montagebügel für hochgenaue Dickenmessungen
Bild: Micro-Epsilon

Hochgenaue, zweiseitige Dickenmessungen macht ein neuer Montagebügel mit kapazitiven Sensoren von Micro-Epsilon möglich. Durch die gegenüberliegende Montage der Sensoren werden diese exakt in einer Achse zueinander ausgerichtet. Das sorgt für höchste Präzision, die unter anderem bei Anwendungen in der Batterie- und Halbleiterindustrie gefordert ist.

Bei zweiseitigen Dickenmessungen werden kapazitive Sensoren gegenüberliegend montiert. Eine exakte Ausrichtung in einer Achse ist erforderlich, um hochpräzise Dickenmessungen durchzuführen. Um die Befestigung der Sensoren sicherzustellen, hat Micro-Epsilon den Montagebügel konzipiert, der die Sensoren exakt zueinander ausrichtet. Dadurch liegen die Sensoren deckungsgleich auf einer Achse.

Der Einbau erfolgt platzsparend, da der Montagebügel sehr kompakt gebaut ist. An einem Montagebügel können bis zu sechs Sensoren angebracht werden. Da je zwei Sensoren eine Messstelle abbilden, können Dickenmessungen an drei Spuren gleichzeitig durchgeführt werden. Der Montagebügel kann auch in anspruchsvollen Umgebungen eingesetzt werden. Er ist sowohl vakuumtauglich als auch temperaturstabil bei Temperaturen bis 100 °C. Daher wird er auch in Hochpräzisionsanwendungen wie der Halbleiterindustrie zur hochauflösenden Dickenmessung von Wafern und der Batterie-Industrie zur zweiseitigen Dickenmessung von Batterie- sowie Separatorfolien eingesetzt.



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