Beschichtungen im Nanometerbereich lassen sich mit dem FT160 RFA von Hitachi High-Tech Analytical Science messen. Bei dem auf energiedispersiver Röntgenfluoreszenz basierenden Tischgerät fokussiert eine Polykapillaroptik den Röntgenstrahl auf einen Durchmesser von 30 µm, wodurch die Probe intensiver angeregt wird und Merkmale gemessen werden, die kleiner sind als dies mit herkömmlichen Kollimatoren möglich ist. Ein hochsensibler, hochauflösender Hightech-Silizium-Driftdetektor (SDD) nutzt die Optik voll aus, um Beschichtungen etwa auf Mikroelektronik und Halbleitern im Nanometer-Maßstab zu messen. Ein hochpräziser Probentisch und eine hochauflösende Kamera mit digitalem Zoom ermöglichen eine schnelle Positionierung der Probenstrukturen. ■
Hitachi High-Tech Analytical Science GmbH
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